PVD i CVD
PVD vs CVD
PVD (depozicija fizikalnog para) i CVD (Chemical Vapor Deposition) su dvije tehnike koje se rabe za stvaranje vrlo tanjeg sloja materijala u supstrat; obično nazivaju tanke filmove. Koriste se uglavnom u proizvodnji poluvodiča gdje vrlo tanki slojevi n-tipa i p-tipa materijala stvaraju neophodne spojeve. Glavna razlika između PVD-a i CVD-a su procesi koje oni koriste. Kao što ste već zaključili iz imena, PVD koristi samo fizičke sile kako bi položio sloj dok CVD koristi kemijske procese.
U PVD-u, čisti izvorni materijal se gasificira isparavanjem, primjenom velike snage, laserske ablacije i nekoliko drugih tehnika. Plinificirani materijal će se zatim kondenzirati na supstratnom materijalu kako bi se dobio željeni sloj. Nema kemijskih reakcija koje se odvijaju u cijelom procesu.
U CVD izvorni materijal zapravo nije čist jer se miješa s nestabilnim prekursorom koji djeluje kao nosač. Smjesa se ubrizgava u komoru koja sadrži supstrat i zatim je pohranjena u nju. Kada je smjesa već pričvršćena na podlogu, prethodnik se raspada i ostavlja željeni sloj izvornog materijala u supstratu. Nusproizvod je zatim uklonjen iz komore kroz protok plina. Proces razgradnje može se pomagati ili ubrzati upotrebom topline, plazme ili drugih procesa.
Bez obzira radi li se o CVD-u ili PVD-u, krajnji rezultat je u osnovi isti jer oboje stvara vrlo tanki sloj materijala ovisno o željenoj debljini. CVD i PVD su vrlo široke tehnike s više specifičnih tehnika pod njima. Stvarni procesi mogu biti različiti, ali cilj je isti. Neke tehnike mogu biti bolje u nekim aplikacijama od drugih zbog troškova, jednostavnosti i raznih drugih razloga; stoga se preferiraju na tom području.
Sažetak:
- PVD koristi fizikalne procese samo dok CVD prvenstveno koristi kemijske procese
- PVD obično koristi čisti izvorni materijal, a CVD koristi mješoviti izvorni materijal
